一、合同编号： GPGY-XYD-10
二、合同名称： 原子层沉积系统
三、项目编号： OITC-G260390876
四、项目名称： 中国科学院微电子研究所原子层沉积系统采购项目
五、合同主体采购人（甲方）： 中国科学院微电子研究所 地 址： 北京朝阳区北土城西路3号联系方式：82995579供应商（乙方）：无锡邑文微电子科技股份有限公司地 址：江苏省无锡市观山路1号联系方式：0510-85119178
六、合同主要信息主要标的名称：原子层沉积系统规格型号（或服务要求）： SINO ALD R200PV 主要标的数量：1主要标的单价：4280000人民币合同金额： 428.000000万元 履约期限、地点等简要信息：北京 6月内采购方式： 单一来源
七、合同签订日期： 2026-10-20
八、合同公告日期： 2026-10-20
九、其他补充事宜：附件： 原子层沉积系统 合同.pdf原子层沉积系统 合同.pdf 免责声明：本页面提供的政府采购合同是按照《中华人民共和国政府采购法实施条例》的要求由采购人发布的，中国政府采购网对其内容概不负责，亦不承担任何法律责任。 IMECAS元工中力购口人同编号：GPGY-XYD-10E1中万购货单位：人江1园币今稻大写）：肆伯贰招捌力元企第一务，产品的技术指标及应答第二条：配置指标序号名称单位数量1离子增强原子层沉积系统主机套12液态源系统个33200℃加热源个24气体脉冲源套15等离子气路套51第二条：配置指标序号名称单位数量1离子增强原子层沉积系统主机套12液态源系统个33200℃加热源个24气体脉冲源套15等离子气路套56半自动预真空系统套17高抽速干泵台18分子泵台19臭氧系统套110专用工具（螺丝刀工具包等）套111源瓶个1IMECAS第三条：到货时间及交货地点1.到货时间：自合同签订之日起6个月内到货；2.交货地点，运输方式及运输费用：乙方负责送货到甲方指定地点中国科学院微电子研究所（北京市朝阳区北土城西路3号）费用由乙方承担。第四条：货款的结算1.合同签订后支付70%到货并通过验收后甲方代表签字并加盖单位公章后的验收报告支付30%。2.乙方提供增值税发票。第五条：技术资料要求：乙方应提供1套完整的技术资料，包括所有方案中提到的设备和控制软件的相关技术资料，主要有操作手册、使用手册、维护手册、安装手册等，全套手册必须可在设备操作界面上实时方便查阅，并可以使用关键字检索。第六条：安装、调试及验收要求：1.出厂检验报告：乙方在设备发货前提供到甲方，或随设备发货提供到甲方。2.设备检查和清点：设备到达现场后，双方一起根据合同清单对设备进行开箱检查和清点，并形成经双方认可的记录。如乙方届时不派人来，则验收结果应以甲方的清点记录为最终结果。发2IMECAS现短缺、破损，甲方有权要求乙方两周内补发和负责更换。3设备现场安装：现场安装应在设备检查、清点合格后开始。设备安装前，乙方应根据甲方现场条件设计安装方案与施工方案（含单位资质），并经甲方认可。乙方提供设备安装、验收、调试、试运行所需水电气连接等安装过程配套条件。甲方派相关人员给与配合，并负责提供设备安装过程所需的配套条件：设备安装、调试时间由乙方和甲方协商确定。设备安装、调试开始后，应在3周内完成；如遇不可抗力原因需延长设备安装、调试时间，应由乙方和甲方协商确定。4.双方在设备安装调试后一个月内完成验收，时间由乙方和甲方协商确定；验收标准以技术协议及乙方提供的投标文件中所列的指标为准。任何虚假指标响应一经发现即作废合同，乙方必须承担由此给采购人带来的一切经济损失和其它相关责任。乙方应提出验收测试方案给甲方确认，乙方有责任对甲方的技术人员提出的问题做出解答。仪器设备验收测试应进行详细记录，测试结束后，由乙方技术人员签字后交给甲方验收。5.在甲方现场完成验收后，由甲方、乙方及相关人员依国家有关标准、合同及有关附件要求签署最终验收合格报告。6.由于甲方的原因，乙方不能在规定的时间内完成安装和调试，则系统安装及培训顺延，时间由甲方通知和确定。7.在整个验收过程中，如遇到产品本身质量问题或乙方安装操作不当引起的设备损坏，乙方应免费及时解决并承担损坏赔偿。8.预验收及最终验收不通过，合同终止，乙方全额退还已支付款项。第七条：培训要求：乙方在到货安装调试完成后，应派出专业工程师免费在采购方现场提供一次系统的使用培训服务，直至采购方相关人员熟练掌握为止。质保期结束前、后三个月，由乙方的专业工程师免费提供一次上门设备检查服务以及设备操作与维护培训。具体时间由甲方决定。第八条：售后及技术服务要求：3IMECAS1.保修期：质量保证期从签署最终验收报告之日起计算，保修期不少于1年。保修期内，一切服务费用（包括零配件的费用及运费）由乙方承担；2.保修期内，乙方负责设备的所有相关软件在最新版本发布后免费升级：3.乙方应承诺，在保修期过后，乙方继续向甲方以最优惠费率提供及时有效的售后服务和零备件供应，乙方应承诺保证零备件供应期不少于10年；所更换的部件可享受顺延保修期优惠。4.保修期内，如果仪器设备发生故障，乙方要调查故障原因并修复直至满足最终验收指标和性能的要求。5.售后服务要求：5.1维修响应时间：乙方接到故障报告后4小时予以电话响应并给出方案，如无法通过电话解决故障，将在24小时内派专业工程师到现场解决问题，如有需要将在7日内派原厂工程师到现场解决问题；5.2乙方免费提供7*24小时的技术支持热线电话：5.3乙方须保证本合同系统硬件均系原装新品：5.4乙方须保证所提供的控制软件为正版软件，并能免费得到原产厂家技术支持及升级服务。第九条：包装及运输要求：无论在何种运输方式下，乙方应保证货物包装完好无锈蚀，安全运抵目的地。应使用崭新坚固的包装（标准包装），适合于长途运输方式和标准：包装箱应防潮、防锈、防震、防粗暴装卸、适合气候变化：乙方应对任何由于不当包装或防护措施不利而导致的商品损坏、损失、费用增长等后果负责。第十条：知识产权条款乙方保证基于本合同提供的产品或服务，甲方在使用、制造、销售、出口等经营活动中不会侵犯任何第三方的知识产权；若发生上述情况，乙方保证承担由此产生的法律责任：同时由于乙方产品发生知识产权争议或纠纷对甲方造成经济损失的，甲方有权随时向乙方提出赔偿要求。4IMECAS第十一条：保密条款乙方对于在本合同的签订和履行过程中知悉的甲方技术秘密（含技术图纸）及商业秘密，均负有保密义务。未经甲方书面许可不得用于其他用途或披露给任何第三人。乙方违反本条约定的保密义务，甲方有权要求赔偿因此违约行为造成的损失。第十二条：违约责任1.乙方逾期发货的，每逾期1天向甲方偿付逾期交货的违约金，金额为合同总金额的0.3%；逾期交货违约金总额不超过合同总金额的30%。2.甲方逾期付款的，按照同期银行贷款利率向乙方偿付逾期付款的违约金，逾期付款违约金总额不超过合同总金额的30%。乙方所供货物不符合本合同约定的，甲方不承担本条之违约责任。第十三条：不可抗力甲乙双方的任何一方由于不可抗力的原因不能履行合同时，应及时向对方通报不能履行或不能完全履行的理由，在取得有关合法有效证明以后，允许延期履行、部分履行或者不履行合同，并根据情况可部分或全部免予承担违约责任。第十四条：组成合同的文件下列文件一起构成合同文件，如下述文件之间有任何抵触、矛盾或歧义，应按以下顺序解释：1.采购合同及其变更、补充协议2.投标（响应）文件OITC-G260392871/13.单一来源采购文件OITC-G2603928714.有关技术文件，图纸5.国家法律、行政法规和规章制度规定或合同约定的作为合同组成部分的其他文件第十五条：法律的适用及争议的解决1.本合同适用中华人民共和国法律。2.执行本合同发生争议，由当事人双方协商解决。协商不成，任何一方可向甲方住所地人民法院提起诉讼。3.本合同自双方签字盖章之日起生效。合同有效期内，甲乙双方均不得随意变更或解除合同。本合同如有未尽事宜，须经双方共同协商，做出补充协议，补充协议与本合同5IMECAS具有同等效力。本合同一式陆份，甲方执肆份，乙方执贰份。甲方：中国科学院微电子研究所乙方：无锡邑文微电子科技股份有限公司法定代表或委托代理人：法定代表或委托代理人：地址：北京市朝阳区北土城西路3号地址：无锡市新吴区观山路1号税号：12100000400834434U纳税人识别号：913202145668931949开户行：中国工商银行北京马甸支行开户行：南京银行股份有限公司无锡新区支行账号：0200025609089030.157账号：04102800000005297026年1月0日22年10月20日6