【分散采购备案单】二维材料转移平台项目概况 项目名称 二维材料转移平台 项目编号 BH202610191173 开始时间 2026-10-20 22:31 结束时间 2026-10-25 22:31 供应商资格要求 参照《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定的资格条件。 预算金额（元） 65500.00 采购方式 单一来源 拟定成交供应商 深圳市展芯科技有限公司 单一来源原因 1) 原设备配套及接口兼容性的要求。现有平台由深圳市展芯科技有限公司提供。本次保留原平台主体，吸附底座、旋转机构及电控Z轴须与原机安装基准、气路、夹具和显微空间匹配，拟由原供应商实施适配改造。 2) 吸附、转角与电控升降协同的要求。样品在旋转及Z轴接近、抬起时需可靠固定。吸附面、旋转中心、Z轴与观察位置须联合标定，并校核行程、管路干涉及热态稳定性，保证拾取、堆叠与释放操作的重复性。 3) 整机调试及技术责任连续性的要求。升级涉及原机多个关联部位，需在保留原有功能的基础上完成安装、调试与转移流程验收。由原供应商统筹实施，可衔接技术服务及售后责任，减少分散改装、重复调试和责任划分问题。 采购货物信息列表 序号 货物（服务）名称 数量 计量单位 预算单价1 二维材料转移平台 1 1 65500技术参数 真空吸附与加热底座：配置HTV-50，样品台直径2英寸，真空孔位可吸附载玻片及碎晶圆；XY行程50×50 mm，分辨率≤10 μm；温控范围室温至200℃，温度分辨率0.1℃，采用PID控温，配置水冷降温及水冷隔绝装置。 1）转角机构：MINI-PLUS加装R轴，±90°快调，任意位置离合后精调，厂家标称精准度±0.1°，配电子角度尺；HTV-50样品台360°旋转，±9°精调范围内分辨率0.001°；θX、θY调平范围均≥±5°，分辨率≤0.001°。 2）电控Z轴：CM50驱动行程±6 mm，报价标称分辨率±0.5 μm；电控手柄控制，速率调节100细分，支持MTS1000夹具负载。实际夹具适配及标称指标的定义、验收方法以技术协议确认。 相关材料