浙江大学2026年9至12月政府采购意向-聚焦电子束离子束双束显微镜 详细情况 聚焦电子束离子束双束显微镜项目所在采购意向： 浙江大学2026年9至12月政府采购意向采购单位： 浙江大学采购项目名称： 聚焦电子束离子束双束显微镜预算金额： 470.000000万元(人民币)采购品目： A02109900其他仪器仪表 采购需求概况 ： 1. 聚焦电子束离子束双束显微镜主机 1.1 场发射电子枪 加速电压范围：最大≥35 kV，最小≤20 V； 分辨率：≤0.9 nm@15 kV, ≤1.6 nm@1.0 kV;共焦点分辨率：≤1.5 nm@15 kV, ≤10.0 nm@1.0 kV； 束流大小：最小值≤1pA，最大值≥20 nA； 1.2 镓离子聚焦离子束镜筒 加速电压范围：最大≥30kV，最小≤500V； 分辨率：≤3 nm @ 30 kV； 2. 配件 2.1 辅助气体注入-Pt、C； 2.2 样品快速交换仓； 2.3 四轴纳米操控系统； 2.4 电子束曝光系统； 预计采购时间： 2026-10备注：本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。