招标单位 : 安徽华鑫微纳集成电路有限公司采购编号 :20260910143120948采购公告截止时间 :2026-09-14 12:00光刻机改造采购公告( 安徽华鑫微纳集成电路有限公司) 发布时间 :2026-09-10 14:34
一、采购物资序号物资编码物资名称材质/品牌型号规格单位数量其他属性需求单位使用方向送货地址备注附件1001光刻机改造 套1物资采购详细要求1、先和技术负责人沟通清楚再报价 2、请做标书并上传至附件，附件须含有技术规格响应偏离表；分项报价，关重件的品牌型号要标明清楚以及相关资质、业绩、技术解决方案；写明制造商，代理商要有原厂授权函 3、商务咨询何一(***** 登录查看更多)
二、报价要求 交货地址 *****报价是否含税 是，说明： 13% 报价备注 可不填写 报价要求 必须全部报价 发票要求 专票 报价有效期 填写 是否上传报价单 是 报名供应商要求 本项目接受已在平台注册通过，且满足本公告要求的所有供应商 基本证件 营业执照 供应商邮箱 必填 是否允许自然人报价 否
三、评审规则 评审规则：最低价法
四、保证金 保证金收取方式：不收取费用
五、报价须知 1、报价截止时间：2026年09月14日12时00分 2、报价方式： （1）登录优质采云采购平台（https://www.youzhicai.com）公告查看页面点击"我要报价"。请未注册的供应商及时办理注册审核。因未及时办理注册审核手续影响报价的，责任自负。 （2）供应商需完整填写报价信息，并按采购要求上传相应资料的扫描件，须在报价截止时间前提交报价，逾期责任自负。 3、报价响应条件 序号条件名称条件内容1违约责任成交供应商延迟交货或提供商品服务不满足公告所列要求的视为违约，需承担违约赔偿责任，情节严重的，采购方有权取消其为成交供应商。2交货时间由供应商提供3付款方式由供应商提供报价须知需上传用印后的技术规格响应文件，格式不限
六、注意事项 1、供应商如有疑问可以在线提问并在线查看答疑澄清； 2、供应商应合理安排报价时间，特别是网络速度慢的地区为防止在报价结束前网络拥堵无法操作。如果因计算机及网络故障无法报价，责任自负； 3、报价过程中如有任何平台操作问题，请联系平台客服；
七、联系方式 采购单位：安徽华鑫微纳集成电路有限公司 地址：蚌埠 联系人：何一 联系方式： ***** 登录查看更多附件列表 附件（点击附件名称下载） 公告附件： 佳能FPA-5550iZ2型步进光刻机功能模块技术规格书0519.docx 采购物资表 : 序号物资编码物资名称材质/品牌规格型号单位数量备注附件1001光刻机改造 套1.00无附件 【签署要求：首页签全名，后面每页编写人逐页在右下角角签（角签定义：只需签姓，无需签全名）】佳能FPA-5550iZ2型步进光刻机功能模块技术规格书编制：校对：审核：批准：日期：佳能FPA-5550iZ2型步进光刻机功能模块技术规格书
一、投标要求1投标人须仔细阅读招标文件的全部条款，并作为明确响应。2招标文件中带“★”号的条款及要求，投标方必须满足，若有一项不满足将导致废标。3投标报价3.1对（物资/服务）进行报价填写《分项报价表》；3.2投标报价为（物资/服务）到需方价（应含运保费）。4资质要求：投标人可以是制造厂家，也可以是授权代理商，代理商需有原厂家的有效授权书。要求同类型（物资/服务）自招标日近3年内出货量与验收数量大于5台（套），国产（物资/服务）与再制造厂商提供合同和验收材料，进口全新（物资/服务）出具盖章的业绩说明材料。★5付款方式：（一）投标人自行选择付款方式和条件1或者付款方式和条件2付款方式和条件1：①从中华人民共和国关境外提供的货物。1)签订合同后凭中标人或中标人委托他人开具的受益人为招标人的银行履约保函（金额为预付款金额，有效期为直到（物资/服务）到货截止）预付合同额的30%；2)发货前开立70%合同额的信用证，其中发货后凭单据支付60%款项，验收合格后支付10%；②从中华人民共和国关境内提供的货物。1)签订合同后凭中标人或中标人委托他人开具的受益人为招标人的银行履约保函（金额为预付款金额，有效期为直到（物资/服务）到货截止）预付合同额的30%；2)验收合格后凭全额增值税发票支付合同额的60%；3)质保期满付合同额的10%。付款方式和条件2：①从中华人民共和国关境外提供的货物。发货前开立100%合同额的信用证，其中发货后凭单据支付90%款项，验收合格后支付10%；②从中华人民共和国关境内提供的货物。1)（物资/服务）到货后支付合同额的30%；2)验收合格后凭全额增值税发票支付合同额的60%；3)质保期满付合同额的10%。（此条适用于总金额高于200万元的）（二）投标人自行选择付款方式和条件1或者付款方式和条件2付款方式和条件1：1)签订合同后凭中标人或中标人委托他人开具的受益人为招标人的银行履约保函（金额为预付款金额，有效期为直到（物资/服务）到货截止）预付合同额的30%；2)验收合格后凭全额增值税发票支付合同额的60%；3)质保期满付合同额的10%。付款方式和条件2：1)（物资/服务）到货后支付合同额的30%；2)验收合格后凭全额增值税发票支付合同额的60%；3)质保期满付合同额的10%。（此条适用于总金额:10-200万元之间的）（三）货到60天且验收合格后支付。（此条适用于总金额低于10万元的）
二、名称、数量及用途1名称：佳能FPA-5550iZ2型步进光刻机功能模块2购买模块及数量模块描述数量用途定制chuck2用于削边晶圆(削边晶圆标准，削边宽度≤3mm,顶层硅厚度≤75um)顶层朝下的工艺制程光刻机红外对准功能模块1用于需要做红外对准的工艺制程
三、主要技术指标1功能要求及技术指标模块描述技术指标定制chuck安装后光刻机可加工削边晶圆(削边晶圆标准，削边宽度≤3mm,顶层硅厚度≤75um)顶层朝下的工艺制程光刻机红外对准功能模块安装后光刻机具备红外透射能力（wafer厚度≥750um,Bare Silicon,SEMI standard thickness)红外波长1060nm-1200nm红外透射套刻精度≤0.3um
四、培训、验收方法1备件附件及备用件★1.1投标方应免费提供不少于一年的质保,质保期内所有的备件和易损易耗品由投标方免费提供。1.2主要部件终身维修，国内有技术服务工程师；有备品、备件仓库并提供终身备品备件；能够及时提供故障、维护及应用的技术支持。2.人员培训无3.验收方法3.1预验收：招标方保留（物资/服务）预验收权利，在（物资/服务）发货前，招标方可指派人员赴（物资/服务）所在地开展预验收工作，预验收合格后方可发货，费用由招标方承担。3.2安装调试3.2.1（物资/服务）的安装调试由投标方负责，并遵守招标方的现场规章制度。3.2.2（物资/服务）投标方（厂商）人员到用户现场完成安装、调试、培训与验收的城际（国际）交通及食宿费用由投标方承担。3.2.3设备调试总时间不得大于15天（设备二次配完成后开始计时），投标方需要提供设备调试总天数和设备调试计划，并严格按照设备调试总天数和设备调试计划控制调试进度，如果出现设备调试超期的情况，招标方保留追责赔偿的权利，如果设备调试出现严重超期的情况（最长不得超期3个月），招标方可以拒绝验收并保留追责赔偿和退回设备的权利。设备的技术指标如果不能满足招标方要求，招标方可以拒绝验收并保留追责赔偿和退回设备权利。3.2.4投标方应提供（物资/服务）二次配需求表和基座需求，并提供（物资/服务）的钢板脚垫。3.3最终验收3.3.1最终验收地点在用户现场。3.3.2按照双方签订的技术协议进行验收。
五、运输、包装、交货期及交货地点1.交货期：合同签订后10个月；★2.卖方负责（物资/服务）的包装并安全运到用户指定现场，叉车、吊车、运输、搬运入场、路线清理、隔墙安装、保险等费用由卖方承担，由于包装、运输、吊装、搬运不当等造成的货物损坏、锈蚀、丢失等损失由卖方承担。3.交货地点：安徽省蚌埠市用户指定现场。